窒化タンタル
窒化タンタル（ちっかタンタル、Tantalum nitride）は、タンタルの窒化物である。銅やその他の導電性金属の間のバリアや「糊」の層、また熱酸化物等の誘電絶縁体フィルムの製造に使われることがある。これらのフィルムは、集積回路の製造の際に、薄膜抵抗器等として、シリコンウェハーの上に沈着される[1]。
| 窒化タンタル | |
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別称 Tantalum mononitride | |
| 識別情報 | |
| CAS登録番号 | 12033-62-4  |
| PubChem | 83832 |
| EC番号 | 234-788-4 |
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| 特性 | |
| 化学式 | TaN |
| モル質量 | 194.955 g/mol |
| 外観 | 黒色結晶 |
| 密度 | 14.3 g/cm3 |
| 融点 |
3090 °C, 3363 K, 5594 °F |
| 水への溶解度 | 不溶 |
| 構造 | |
| 結晶構造 | 六方晶, hP6 |
| 空間群 | P-62m, No. 189 |
| 危険性 | |
| EU Index | Not listed |
| 引火点 | 不燃 |
| 関連する物質 | |
| その他の陽イオン | 窒化バナジウム(III) 窒化ニオブ |
| 特記なき場合、データは常温 (25 °C)・常圧 (100 kPa) におけるものである。 | |
脚注
- Akashi, Teruhisa (2005年). “Fabrication of a Tantalum-Nitride Thin-Film Resistor with a Low-Variability Resistance”. 2006年9月2日閲覧。
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